無塵車間工程非?？膳碌撵o電危害

發(fā)布日期：2016-12-19 作者：點擊：

在無塵車間工程中，由于靜電的不良影響，會導致微粒污染，靜電放電（ESD）以及設備故障等問題?，F(xiàn)代的過濾技術可以防止絕大部分的外部粉塵進入潔凈室。但是，在潔凈室內(nèi)部，粉塵依然會在工作人員，生產(chǎn)設備以及部分生產(chǎn)過程中產(chǎn)生。令人遺憾的是，通常這些粉塵源都會比較靠近產(chǎn)品。如果物體表面帶了靜電，由于靜電吸引就會吸附在潔凈室層流中傳播的粉塵。亞微米級的塵粒會影響到高科技產(chǎn)品的質量，它們一旦被吸附，產(chǎn)品表面就很難清除。

無塵車間工程

靜電放電也會產(chǎn)生電磁干擾（EMI）現(xiàn)象。這將會妨礙到產(chǎn)品設備（特別是基于微處理器的機器人技術）的正常工作。發(fā)生在某部分設備上的靜電放電，也可能會影響到附近其他設備的運轉，這樣就很難找出問題出在什么地方。一個全面的污染控制流程，必須將靜電問題作為潔凈室污染的一種類型，將其測量和處理納入其中。

除了會使?jié)崈羰抑械某龎m變得更加困難外，靜電還會帶來其他的生產(chǎn)問題。未加控制的靜電傳導——靜電放電——會直接對產(chǎn)品產(chǎn)生危害。危害到半導體、磁盤零部件、醫(yī)療設備以及多種類型的薄膜和涂層。

塵粒污染在半導體、磁盤驅動器和FPD產(chǎn)業(yè)中臭名昭著。它們會導致組件報廢或者損害磁頭和磁盤介質。一個平面顯示器很可能因為單單一個帶靜電的塵粒而被破壞掉。對于醫(yī)療設備，帶靜電的塵粒在其質量上所帶來的后果可能會更為嚴重。在醫(yī)療、制藥、食品加工還有其他生命科學行業(yè)中，還必須考慮吸附在塵粒上的微生物的影響。