電子無塵車間工程設(shè)計要求

發(fā)布日期：2016-12-15 作者：點擊：

電子無塵車間工程的設(shè)計，以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程無塵室（區(qū)）除了對微粒的嚴格控制外，還對溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴格，消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響，從而使環(huán)境達到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

潔凈室（區(qū)）的溫、濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定當生產(chǎn)工藝無具體要求時，其溫度可按20~26℃，相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據(jù)與國際ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073，這類潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級1-9級，其中1-5級，氣流流型為單向流或混合流，風速0.2-0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50-60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15-25次/h；8-9級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10-15次/h。無塵車間工程