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電子無塵車間工程設(shè)計要求

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電子無塵車間工程設(shè)計要求

發(fā)布日期:2016-12-15 作者: 點擊:

電子無塵車間工程的設(shè)計,以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程無塵室(區(qū))除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴格,消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,從而使環(huán)境達到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

潔凈室(區(qū))的溫、濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定當生產(chǎn)工藝無具體要求時,其溫度可按20~26℃,相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據(jù)與國際ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073,這類潔凈室(區(qū))的潔凈度等級1-9級,其中1-5級,氣流流型為單向流或混合流,風速0.2-0.45m/s;6級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)50-60次/h;7級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)15-25次/h;8-9級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)10-15次/h。無塵車間工程

根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范,電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)

1.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。

2.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

3.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值。

4.補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。 

5.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。


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