電子光學(xué)潔凈工程

電子光電行業(yè)，由于其人員密集性，而人員又是潔凈室最主要的污染源，所以在設(shè)計、人員動向、管理、節(jié)能等方面都要做到全面的考量。

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)

4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)

換氣次數(shù)：100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔

隨著集成電路光刻等工藝發(fā)展，其生產(chǎn)環(huán)境對潔凈度要求也越來越高，CLASS 100/10級，甚至1級。

我司設(shè)計團隊將根據(jù)客戶所屬產(chǎn)業(yè)實際情況、工藝要求、管理需求，按節(jié)能環(huán)保的要求，提供潔凈室及配套系統(tǒng)整廠規(guī)劃設(shè)計。

1、Class 1K 、10K 、100K分產(chǎn)品需求有不同等級無塵室；

2、壓縮空氣、有機排氣等生產(chǎn)配套系統(tǒng)；